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薄膜熱物性

產品簡介:薄膜熱物性系統主要特點:
高效便捷的薄膜材料表征手段(nm到um薄膜測試)。
不同溫度下的測量(-170 to 200℃<-可選300℃>)
樣品易于制備和處理
高的測量適應性 (樣品厚度,電阻率,沉積方式)
一個樣品,一次同步測量即可獲得所有相關參數。
適用于金屬、陶瓷及有機材料。

產品型號:

更新時間:2025-03-12

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產品介紹
  薄膜熱物性基本測量單元 :
 
  測量室,真空泵,帶加熱器的支架,電子頰側裝置,集成鎖相放大器,3w方法分析軟件,計算機和應用軟件。可測以下物理參數:
 
  l -熱傳導系數 (穩態法/平面內方向)
 
  r - 電阻率
 
  s - 電導率
 
  S - 賽貝克系數
 
  e – 發射率
 
  cp - 比熱容
 
  磁測量單元
 
  可根據需求選擇集成式電磁鐵,可測物理參數如下:
 
  AH - 霍爾常數
 
  μ –遷移率
 
  n -載流子濃度
 
  薄膜材料性能有別于塊體材料之處
 
  -        因小尺寸和高縱橫比所導致的表面效應如:邊界散射和量子限域效應
 
  薄膜熱物性系統主要特點:
 
  高效便捷的薄膜材料表征手段(nm到um薄膜測試)。
 
  不同溫度下的測量(-170 to 200℃<-可選300℃>)
 
  樣品易于制備和處理
 
  高的測量適應性 (樣品厚度,電阻率,沉積方式)
 
  一個樣品,一次同步測量即可獲得所有相關參數。
 
  適用于金屬、陶瓷及有機材料。
 

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